2018年2月9日,合肥晶合集成電路有限公司組織召開了《合肥晶合集成電路有限公司12吋晶圓制造基地項(xiàng)目(階段性驗(yàn)收)竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收會》。參加會議的有安徽海峰分析測試科技有限公司(驗(yàn)收報(bào)告編制單位)、信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司(環(huán)評報(bào)告編制單位)、蘇州崇越工程有限公司(廢水處理設(shè)計(jì)及施工單位)、江西漢唐集成系統(tǒng)有限公司(廢氣處理設(shè)計(jì)及施工單位)等單位的代表及專家共20位組成驗(yàn)收工作組。與會代表查看了項(xiàng)目現(xiàn)場及周邊環(huán)境,并根據(jù)合肥晶合集成電路有限公司竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收報(bào)告及《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收暫行辦法》,嚴(yán)格依照國家有關(guān)法律法規(guī)、環(huán)評及批復(fù)等要求對本項(xiàng)目進(jìn)行階段性驗(yàn)收,提出意見如下:
一、工程建設(shè)基本情況
1、建設(shè)地點(diǎn)、規(guī)模、主要建設(shè)內(nèi)容
合肥晶合集成電路有限公司12吋晶圓制造基地項(xiàng)目(階段性驗(yàn)收)位于合肥新站綜合開發(fā)實(shí)驗(yàn)區(qū)站北新區(qū)綜合保稅區(qū),項(xiàng)目占地211105.14m2,總投資128.10億元,環(huán)保投資2.492億元。公司主要從事12英寸面板驅(qū)動(dòng)類IC(采用90nm、110nm及150nm技術(shù))生產(chǎn),項(xiàng)目產(chǎn)品主要用于電腦、平板電視、手機(jī)、攝像機(jī)等產(chǎn)品面板顯示器部件中。
2、建設(shè)過程及環(huán)保審批情況
合肥晶合集成電路有限公司“12吋晶圓制造基地項(xiàng)目”經(jīng)合肥新站綜合開發(fā)試驗(yàn)區(qū)經(jīng)貿(mào)發(fā)展局合綜試經(jīng)[2015]196號文備案,2016年3月信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司編制完成了《合肥晶合集成電路有限公司12吋晶圓制造基地項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書》,并于2016年3月14日獲得合肥市環(huán)境保護(hù)局“關(guān)于合肥晶合集成電路有限公司12吋晶圓制造基地項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書的審批意見”(環(huán)建審[2016]18號)。
3、驗(yàn)收工況及驗(yàn)收范圍
本項(xiàng)目設(shè)計(jì)產(chǎn)量為4萬片/月(48萬片/年),實(shí)際產(chǎn)量為3000片/月(3.6萬片/年),達(dá)不到設(shè)計(jì)產(chǎn)量,驗(yàn)收僅對目前的實(shí)際產(chǎn)量做階段性驗(yàn)收。驗(yàn)收監(jiān)測期間,實(shí)際產(chǎn)能82片/天,達(dá)到驗(yàn)收期間最大負(fù)荷101片/天(3000片/月)的78.8%,驗(yàn)收期間實(shí)際產(chǎn)能滿足75%驗(yàn)收工況要求。
大宗氣體供應(yīng)站和110KV變電站不在本次驗(yàn)收范圍。
二、環(huán)境保護(hù)設(shè)施建設(shè)情況
1、廢水
本項(xiàng)目廢水主要是生產(chǎn)廢水及生活污水。
生產(chǎn)廢水主要經(jīng)過酸堿廢水處理設(shè)施、含氨廢水處理設(shè)施、研磨廢水處理設(shè)施、有機(jī)廢水處理設(shè)施、含氟廢水處理設(shè)施處理后排入中和調(diào)節(jié)槽處理后排入廠區(qū)廢水總排口;生活污水經(jīng)隔油池、化糞池處理后排入廠區(qū)廢水總排口,排入廠區(qū)廢水總排口,進(jìn)入市政污水管網(wǎng),排入陶沖污水處理廠進(jìn)一步深度處理。
2、廢氣
本項(xiàng)目廢氣主要是酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)廢氣、污水處理站惡臭廢氣、非含砷工藝尾氣、含砷工藝尾氣、鍋爐煙氣、含氨廢水處理系統(tǒng)廢氣、化學(xué)品供應(yīng)間廢氣等。
酸性廢氣采用6套堿液噴淋吸收塔(5用1備)處理后經(jīng)44米排氣筒高空排放;堿性廢氣經(jīng)3套酸液噴淋吸收塔(2用1備)處理后經(jīng)44米排氣筒高空排放;非含砷工藝尾氣經(jīng)32套(5用27備)POU凈化裝置處理后并入酸性廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理,并經(jīng)酸性廢氣排氣筒進(jìn)行排放;含砷工藝尾氣經(jīng)24套(20用4備)POU凈 化裝置+1套含砷吸附裝置處理后經(jīng)39米高排氣筒高空排放;鍋爐煙氣經(jīng)35米高排氣筒高空排放;有機(jī)廢氣經(jīng)3套(2備1用)沸石濃縮轉(zhuǎn)輪焚燒處理后經(jīng)4根(3備1用)44米排氣筒高空排放;含氨廢水處理系統(tǒng)廢氣經(jīng)兩級酸液吸收噴淋后經(jīng)19米高排氣筒高空排放;化學(xué)品供應(yīng)間廢氣經(jīng)活性炭吸附裝置處理后經(jīng)15米高排氣筒高空排放;污水處理站惡臭廢氣經(jīng)水噴淋塔洗滌后經(jīng)19m高排氣筒高空排放。
3、噪聲
本項(xiàng)目高噪聲設(shè)備通過基礎(chǔ)減振、消聲、隔聲、合理布局等措施控制噪聲排放。
4、固體廢物
本項(xiàng)目固體廢物主要危險(xiǎn)廢物和一般固體廢棄物。
危險(xiǎn)廢物主要是硫酸廢液、磷酸廢液、氫氟酸廢液、過氧化氫、氨水、顯影液、異丙醇、廢光阻液、廢去光阻液、有機(jī)沾染物、堿性沾染物、酸性沾染物、特殊沾染物、化學(xué)品空桶/瓶、研磨系統(tǒng)污泥、氟化鈣污泥、廢化學(xué)品容器;硫酸廢液、磷酸廢液、廢去光阻液、過氧化氫、氨水、顯
影液、異丙醇、廢光阻液交由合肥茂騰環(huán)??萍加邢薰厩暹\(yùn)并處理;研磨系統(tǒng)污泥、氟化鈣污泥、廢化學(xué)品容器交由安徽浩悅環(huán)境科技有限責(zé)任公司清運(yùn)并處置;氫氟酸廢液、有機(jī)沾染物、堿性沾染物、酸性沾染物、特殊沾染物、化學(xué)品空桶/瓶正在找有資質(zhì)單位處理,企業(yè)給出承諾函,在3個(gè)月時(shí)間內(nèi)找到有資質(zhì)單位處理;一般固廢為硫酸銨廢液、廢芯片、廢靶材、廢包裝材料、廢玻璃、廢金屬、生活垃圾,硫酸銨廢液、廢芯片、廢靶材、廢包裝材料、廢玻璃、廢金屬,交由安徽智界環(huán)??萍加邢薰?、合肥凱利物資回收有限公司、合肥綠之源再生資源利用有限公司、安徽玖勝再生資源有限公司處理;生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一處理。
三、環(huán)境保護(hù)設(shè)施調(diào)試效果
1、污染物達(dá)標(biāo)排放情況
(1)廢水
在竣工驗(yàn)收監(jiān)測期間,該項(xiàng)目污水總排口排放的廢水中各監(jiān)測因子范圍值/濃度均值均滿足《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)中三級標(biāo)準(zhǔn)及“陶沖污水處理廠接管標(biāo)準(zhǔn)”。
(2)廢氣
無組織廢氣監(jiān)測結(jié)果:在竣工驗(yàn)收監(jiān)測期間,無組織廢氣中顆粒物、SO2、NOX、氟化物、硫酸霧、氯化氫、氯氣、苯、甲苯、二甲苯、非甲烷總烴濃度滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)表2中無組織排放監(jiān)控點(diǎn)濃度限要求;氨氣、硫化氫、臭氣濃度滿足《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-1993)表1中惡臭污染物廠界標(biāo)準(zhǔn)值要求。
有組織廢氣監(jiān)測結(jié)果:在竣工驗(yàn)收監(jiān)測期間,該項(xiàng)目堿液噴淋塔排放的有組織廢氣中顆粒物、氟化物、硫酸霧、氯化氫、氯氣、NOX、磷酸霧最大排放濃度值、最大排放速率均小于標(biāo)準(zhǔn)限值,滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)表2中限值要求;氨氣最大排放速率小于標(biāo)準(zhǔn)限值,滿足《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-1993)表2中排放量限值要求。該項(xiàng)目酸液噴淋塔排放的有組織廢氣中氨氣最大排放速率小于標(biāo)準(zhǔn)限值,滿足《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-1993)表2中排放量限值要求。該項(xiàng)目沸石濃縮輪轉(zhuǎn)焚燒排放的有組織廢氣中SO2、NOX、顆粒物最大排放濃度值、最大排放速率均小于標(biāo)準(zhǔn)限值,滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)表2中最高允許排放速率、最高允許排放濃度的限值要求;苯、甲苯、二甲苯、非甲烷總烴最大排放濃度均小于標(biāo)準(zhǔn)限值,滿足《北京市地方標(biāo)準(zhǔn) 大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB11/501-2007)表2中Ⅱ時(shí)段濃度限值要求。該項(xiàng)目鍋爐廢氣中SO2、NOX、煙塵最大排放濃度值小于標(biāo)準(zhǔn)限值,滿足《鍋爐大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB13271-2014)表2中新建鍋爐大氣污染物排放濃度限值要求;該項(xiàng)目氨水處理系統(tǒng)排放的有組織廢氣中氨氣最大排放速率小于標(biāo)準(zhǔn)限值,滿足《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)表2中二級新擴(kuò)改建排放標(biāo)準(zhǔn)限值要求;該項(xiàng)目中化學(xué)品庫排放的有組織廢氣中非甲烷總烴最大濃度值、最大排放速率均小于標(biāo)準(zhǔn)限值,滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)中表2的二級標(biāo)準(zhǔn)限值要求;項(xiàng)目中污水處理站惡臭廢氣中氨氣、硫化氫、臭氣濃度最大濃度值滿足《《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)表2中二級新擴(kuò)改建排放標(biāo)準(zhǔn)限值要求。
(3)噪聲
在竣工驗(yàn)收監(jiān)測期間,項(xiàng)目區(qū)南廠界、西廠界晝間、夜間、北廠界晝間噪聲監(jiān)測結(jié)果均在標(biāo)準(zhǔn)限值內(nèi),滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)中的3類區(qū)標(biāo)準(zhǔn)限值要求;北廠界夜間噪聲監(jiān)測結(jié)果超標(biāo),項(xiàng)目區(qū)北側(cè)為空地,但因周圍無居民區(qū)等敏感點(diǎn),夜間噪聲對周圍環(huán)境影響較小。
(4)固廢
項(xiàng)目危險(xiǎn)廢物硫酸廢液、磷酸廢液、廢去光阻液、過氧化氫、氨水、顯影液、異丙醇、廢光阻液交由合肥茂騰環(huán)??萍加邢薰厩暹\(yùn)并處理;研磨系統(tǒng)污泥、氟化鈣污泥、廢化學(xué)品容器交由安徽浩悅環(huán)境科技有限責(zé)任公司清運(yùn)并處置;氫氟酸廢液、有機(jī)沾染物、堿性沾染物、酸性沾染物、特殊沾染物、化學(xué)品空桶/瓶正在找有資質(zhì)單位處理,企業(yè)給出承諾函,在3個(gè)月內(nèi)找到有資質(zhì)單位處理;一般固廢及生活垃圾均妥善處置。
四、驗(yàn)收結(jié)論
項(xiàng)目執(zhí)行了環(huán)境影響評價(jià)制度,環(huán)境保護(hù)審查、審批手續(xù)完備,按照環(huán)評及批復(fù)的要求落實(shí)了污染防治措施,總體符合驗(yàn)收條件,驗(yàn)收工作組原則同意通過竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收。
五、要求及建議
1、按照《建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收暫行辦法》的公告(國環(huán)規(guī)環(huán)評[2017]4號文)要求,落實(shí)環(huán)保主管部門對噪聲、固廢等污染防治設(shè)施的驗(yàn)收要求。
2、核實(shí)工程內(nèi)容,明確驗(yàn)收范圍,細(xì)化項(xiàng)目變更情況,核實(shí)廢氣總量,明確項(xiàng)目環(huán)保措施與環(huán)評階段差異性分析,完善廢氣、廢水處理工藝、工藝參數(shù)及處理效率,補(bǔ)充水中砷的監(jiān)測數(shù)據(jù),核實(shí)柴油發(fā)電系統(tǒng)設(shè)置及排氣筒位置,規(guī)范排氣筒設(shè)置,細(xì)化油煙廢氣處置。規(guī)范環(huán)境管理,規(guī)范地下水觀測井設(shè)置,明確廢水排放方式,規(guī)范附圖附表,補(bǔ)充監(jiān)測布點(diǎn)圖,明確排污口位置。
3、企業(yè)進(jìn)一步加強(qiáng)環(huán)境管理,嚴(yán)格落實(shí)營運(yùn)期環(huán)境監(jiān)測計(jì)劃,確保污染治理設(shè)施正常運(yùn)轉(zhuǎn),污染物穩(wěn)定達(dá)標(biāo)排放;自覺接受各級環(huán)保部門的日常環(huán)境監(jiān)管。
公示期限自本日起二十個(gè)工作日
聯(lián)系人:溫工
聯(lián)系方式:13083087060
合肥晶合集成電路有限公司
2018年3月13日
附件:合肥晶合集成電路有限公司12吋晶圓制造基地項(xiàng)目(階段性驗(yàn)收)竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收公示
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